アルゴンプラズマ洗浄について詳しい方お願いします。
アルゴンプラズマ洗浄を行ったか行ってないか何か変色させるものは何かないでしょうか?
O2プラズマならAGで黒く変色するのですが・・・・。

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A 回答 (2件)

#1です。



ううッかなり難しいと思いますけど…


スパッタリングや蒸着の様に薄膜を生成するときには、確かにAuなら、いわゆる金色の薄膜が形成されますが


エッチングのようなPVDは、確かにアルゴンのプラズマで基板をたたいてエッチングしますけど、薄膜の色を変化せせるほどのレートはありませんから…


エッチングレートは、触針式表面形状測定器等で計測しながらサンプリングをし、パワー、時間など条件を変化させつつ条件だしを行う必要がありますけど


Agが黒く変色したのは、O2(酸素)により、酸化膜として保護膜も形成された物と思われますが


どんな設備をお持ちですか?
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ドライエッチングとウェットエッチング…or真空エッチングまたは大気圧エッチング?



真空ドライエッチングとして

まず、真空チェンバーの中でそのチェンバーの中をポンプで高真空の状態にし、そこでアルゴン(Ar)ガスを注入し、高電圧を印加しプラズマを発生させて試料をエッチングすると言う認識でよろしいでしょうか?

アルゴンは不活性ガスですから、プラズマの色は青白ですが、試料には色は付きませんけど


または、

質問者様の言う所のAG=Ag(銀)を酸素(O2)で大気圧でエッチングすると、当然酸素ですから酸化膜として酸化し黒く変色すると思いますが…

この回答への補足

早速の回答ありがとうございます。
真空チェンバーによりアルゴンガスを注入し試料(金メッキ)をエッチングさせるものです。
しかし表面は、エッチングされたかされないか一目でわかるようなにかアルゴンで反応しないか?と言うものです。
O2の場合は銀を反応させ一目でわかるようにしている次第です。

補足日時:2011/04/12 12:09
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