オリフラがないウェハーが存在

オリフラがないウェハーが存在するという噂を、聞きました。

ウェハーの結晶の向きを判断するためのオリフラですが、近年オリフラがないウェハーが存在するという噂を、聞きました。
私は現物を見たことも、聞いたこともないのですが、実際にそういうものが存在するのでしょうか ？
もし存在するとしたら、結晶の向きはどのようにして判断するのでしょうか ？
お分かりの方いらっしゃいましたら、是非ご教授ください。
よろしくお願いします。

No.3 回答者： haichicchi 回答日時： 2011/09/21 00:23

>オリフラもノッチもつけずに、結晶の方向を判断する技術は現在確立されていますか？

→すいません。私は何年も前に半導体の仕事から転職してしまったので、最新情報は知りません。
　ただ、「ノッチもつけずに、結晶の方向を判断する技術」の必要性を思いつきません。
　仮にその技術ができたとして、ウェハ加工の大半の工程ではオリフラかノッチで方向を
　合わせてますが、それらの装置を全てその「新技術」に置き換えるのはかなりコストが
　かかりそうなので普及しないのでは。。。

>オリフラがないウエハとは
>　(1)無駄になる面積が多いので、ウエハのサイズに関係なくノッチが一般的になっている
>　(2)オリフラもノッチもつけずに結晶の方向を判断する技術が確立されている。
>のどちらででしょうか？

→と聞かれても。。。
　「オリフラがないウェハ」という言葉はxxxx99さんの質問文で初めて聞いたので、
　質問文を読む限りでは(2)とは思えず、単にノッチのことだろうなと感じました。

期待はずれの回答ですいません(^_^;)

この回答へのお礼

ですよね。
たしかし、ノッチもオリフラもつけずに、方向を判断したとしても、それに対応した機器の開発が必要ですね。
haichicchi様のおっしゃるように、無駄な部分が多くなるオリフラよりも、ノッチの方が有効なので、オリフラが無いウエハという表現になった。つまり、オリフラよりもノッチが一般的とう考えるのが自然ですね。
何回も回答いただき、ありがとうございました。

お礼日時：2011/09/21 10:24

No.2 回答者： haichicchi 回答日時： 2011/09/17 00:23

#1です。

だから、ノッチのことでしょ。
大型のウェハにオリフラをつけると、無駄になる面積が大きいので、
より無駄になる面積が小さくなるノッチが使われています。
このことだと思いますが。

あまりいい説明のあるサイトを見つけられませんでしたが、これ↓とか。

参考URL：http://www.semiconductorjapan.net/serial/lesson/ …

この回答への補足

＞オリフラをつけると、無駄になる面積が大きいので、より無駄になる面積が小さくなる
＞ノッチが使われています。

たしかに、オリフラは無駄になる面積が多いため、ノッチが有効であることはわかります。
では
オリフラもノッチもつけずに、結晶の方向を判断する技術は現在確立されていますか　？

オリフラがないウエハとは
　(1)無駄になる面積が多いので、ウエハのサイズに関係なくノッチが一般的になっている
　(2)オリフラもノッチもつけずに結晶の方向を判断する技術が確立されている。

のどちらででしょうか　？
私は、最初オリフラのないウエハが存在すると聞いた時に、(2)の意味だと思い込んで質問しましたが、なるほど(1)の意味なら納得です。
すいませんが、ご教授願います。

補足日時：2011/09/20 09:06

No.1 回答者： haichicchi 回答日時： 2011/09/16 00:48

ノッチのことですか？

（デンジャラスのノッチでも、パフュームののっちでもありません(笑)）
近年ではなくてかなり昔からありますが。

この回答へのお礼

早速の回答ありがとうございます。
オリフラです。丸いディスクの一部をフラットにして、結晶の方向を判断するので、かなり昔からあるのは知っています。しかし、そのオリフラがないウエハが存在しているという話を聞いたのです。
オリフラがなくて結晶の方向がわかる方法があるのなら、オリフラを入れる手間が省けるのいいことなんでしょうが、そんなん事はありえないと思っています。でも、本当にそういうウエハが存在しているのなら教えてほしいのです。

お礼日時：2011/09/16 15:27