真空蒸着装置

タイトル通りなのですが、真空蒸着装置のしくみについて
できれば真空にするポンプの所を詳しく教えてください。

蒸着物質を加熱して、気化させ板にはっつけると、周りはガラスでかこってどれくらい蒸着できているか見れる用にする、とこんな感じでしか理解できていません。よろしくお願いします。

No.4 回答者： gutugutu 回答日時： 2003/11/14 19:30

#2です。

真空蒸着装置でしたね(>_<)
早とちりで申し訳ありませんでした。
下記に納得のいくものが有ればいいですが・・・・

参考URL：http://www.google.co.jp/search?sourceid=navclien …

No.3 回答者： ucchy 回答日時： 2003/11/14 00:38

　ポンプの所を詳しく、というのが、使用するポンプの種類だけわかればいいのか、それとも、使用するポンプの原理まで知りたいのか、はたまた複数取り付けてあるポンプのそれぞれの役割を知りたいのか、よく分かりません。

とりあえず、おおざっぱに雑多なことを書いておきます。
　使用するポンプは通常2つ。ロータリーポンプと拡散ポンプです。高級なシステムになると、拡散ポンプの代わりにターボ分子ポンプを使うものもあります。
　拡散ポンプとターボ分子ポンプの使い分けは、真空にしたいチャンバー内を少しでもきれいな状態に保ちたい場合にターボ分子ポンプを、それ以外には拡散ポンプを使います。両者で価格もかなり違うし、ほとんどの目的の場合は拡散ポンプで問題ないので、拡散ポンプを使います。拡散ポンプの場合、真空チャンバー内にごく微量の気化したオイルが入りますが、通常は液体窒素を使ってオイルが入るのを防ぐため問題となりません。もちろん、100%防げるわけではないので目的によってターボ分子ポンプと使います。
　ポンプを2種類使う理由は、1種類のポンプでは大気圧から真空蒸着に適する真空度までもっていけないからです。まず、ロータリーポンプで大気圧から1～10Pa程度まで引き、そのあと拡散ポンプ(もしくはターボ分子ポンプ)に切り替えます。そうすることにより、真空蒸着に適した真空度である、10^(-3)Pa付近までもっていくことができます。
　基本的に、真空度が高いほど(つまり真空に近いほど)製膜に適する条件になりますが、真空度を高くしようとするほど、その真空度まで到達させるのに要する時間が長くなるため、ある真空度でよしとして製膜します。そのあたりは試行錯誤で決める部分です。私の場合は、7×10^(-4)Paを1つの目安としています。
　ottizouさんが期待した回答と違っていたらすいません。

No.2 回答者： gutugutu 回答日時： 2003/11/13 20:42

下記でいろいろ見て参考にして下さい。

参考URL：http://www.google.co.jp/search?sourceid=navclien …

No.1 回答者： momotarosamurai 回答日時： 2003/11/13 20:03

こんにちは。

現在大学院生の者です。そもそも真空蒸着装置（スパッタリングともいいます）とは、金属などの物質を真空高温中で加熱気化させ、その蒸気をプラスチック表面で凝縮 ・固化させて薄膜を形成する技術です。真空にするポンプですが、これは空気を抜くためのものですので、それほど重要な意味合いはありません。真空蒸着といっても完全な真空状態ではありません。真空蒸着装置によってできた薄膜はÅ（10^-10)単位にもできます。