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試料(ガラス状)の表面をSEMで観察しています。
操作マニュアルには、観察前にカーボン蒸着を施すよう書かれているのですが、その理由・原理を詳しく知りたいです。
どなたかご存知の方がいたら、宜しくお願いします。

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A 回答 (3件)

No.1の方の回答と同じことですが、SEM(走査型電子顕微鏡)も、EM(電子顕微鏡)も真空管と同じ原理です。



陰極からの電子線は、電子銃、ポールピース、電子レンズ、偏向板を経て試料面に照射されますが、試料面が非導電性ですと、陽極(この場合は試料面)から陰極に向かって電流が流れます。
試料面がガラス状ですと電流の流れる経路ができないために、電流の経路を作ろうとして、電子ビームがさまよって正しく像を観測できなくなります。そのために、試料面を導電性の薄膜でスパッター(真空蒸着)を行います。

良い結果を出すためにも試料つくりが一番大事だと思います。

もう古の記憶です、間違っているかも知れません。
usotsukiでした。
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この回答へのお礼

電子線の流れについての説明を頂き、No.1の方の説明が、さらに補完されたと思います。
ありがとうございました。

お礼日時:2003/12/26 08:55

帯電防止です。


カーボン蒸着してても、明るさのむらが
できるでしょ。そこが帯電してるんですね。
カーボンの蒸着がよくないと、部分的に
明るい部分が残ったりすると思います。

 カーボン蒸着してないと、試料全体が
帯電してよく見えなくなるはずです。
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この回答へのお礼

明るさのムラが帯電に起因しているのを始めて知りました。
原因が分かると、同じ観察でもより深く行えそうです。
ありがとうございました。

お礼日時:2003/12/26 08:51

SEMでは加速電子を試料に当てて飛び出してきた2次電子を検出します。


このとき、加速電子によって試料は帯電します。そうするとcontrastが異常になり、像もぼやけてしまいます。
したがってこれを避けるために試料表面にごく薄い導電層をCやAuなどでつくり電荷を逃がしています。
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この回答へのお礼

像のコントラストに直接関わることなのですね。
原理を知らずに、導電層を設けずに観察したこともありましたが、全てやり直そうとおもっています。
ありがとうございました。

お礼日時:2003/12/26 08:53

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