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半導体原料の高純度ケイ素の生成法を教えてください.

A 回答 (3件)

 あの程度の巨大な単結晶になると、砂(といっても選ばれた砂か、)を融かしつつ還元して酸素を追い出し、あらかじめ用意したシリコンの結晶を液面につけ、まわしながら徐々に引き上げていきます。


 これをうまくやるには、温度管理を徹底しないとうまくいかないので、実験室レベルなら、珪素系セラミックでできたるつぼで溶かして、ゆっくり冷やしながら、結晶を作っていきます。ただ、この方法では少なからず結晶粒界ができてしまいます。
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この回答へのお礼

ありがとうございました。

お礼日時:2004/01/23 11:34

ある程度純度の高い珪素からシランガスを作ります。


シランガスを熱分解させて.珪素に戻します。
戻した珪素を溶かして固めて使います。

固体状珪素の純度を上げるのに既にあるようなぞーるめるとほうを使います。
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この回答へのお礼

ありがとうございました。

お礼日時:2004/01/23 11:33

通常、「フローティングゾーン法」が用いられるようですが、微細な結晶を作る時にはモノシランガス(SiO4)を還元して単結晶を作る場合(たとえばSiの被膜を作る時など)もあるようです。



参考URL:http://133.242.8.15/jdata/02140/199908J02140020/ …
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この回答へのお礼

ありがとうございました。

お礼日時:2004/01/23 11:35

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