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X線を出すには電子銃から出た電子を、
試料に叩き付けてX線を得ると聞きました。
そこで質問なのですが、アルミニウムやマグネシウムを
試料に使うことで何か違いがあるのでしょうか。
色々な教科書を読むと、
タングステン・コバルト・銀・・・等が書いてあります。
その理由もわかったのですが、今使っているXPSでは
教科書では見慣れないアルミとマグネシウムを使っています。
ちなみに、原子番号が大ければ効率が良いということだけはわかりました。

A 回答 (1件)

XPSのターゲットはよほど特殊でない限り,Al, Mgを使用します.


(読まれた教科書の記述はXPS用のX線源ではなかったのでは?)

理由は,
1.長時間の電子線衝撃に対する安定性
2.X線のエネルギー幅が小さいこと(XPSのエネルギー分解能を高くするため)
3.エネルギーが高いこと(励起する光電子のエネルギー幅を大きく取れるため)
4.熱伝導度が高いこと(上記を満たすSiが使えない理由)

を考慮し,残るのがAlとMgです.

また,2種使うのは,一方でオージェピークとの干渉があった場合に他方では
干渉を避けられるからです.

参考文献:
D.ブリッグス, M.P.シーア編,合志陽一,清水隆一監訳,表面分析研究会訳
「表面分析-基礎と応用-(上巻)」,アグネ(1991).
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この回答へのお礼

すいません、自分の調査不足でした。
さっそく参考文献みてまわります。

お礼日時:2001/05/20 15:00

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