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半導体製造装置とは、半導体部品(トランジスタなど)又は半導体装置の製造装置のことですよね。

だとしたら、なぜ、「半導体部品(又は半導体装置)製造装置」といわないで、
「半導体製造装置」と言っているのでしょうか?

A 回答 (2件)

シリコンウェーハなどの材料基板上に半導体素子(デバイス)を形成する機械が「半導体製造装置」であり、切り出してパッケージングして「部品」にする機械とは違うと思いますよ。


パッケージングまで一気にしてしまう設備もあるかと思いますが、それは各装置の集合体であって、工程によって呼び名は変わるものかと思います。
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この回答へのお礼

ありがとうございました。
デバイスを作るまでが「半導体製造工程」なのですね。

お礼日時:2013/09/03 21:49

半導体製造装置


ってのは、前工程と後工程があって、前工程の方がでかいの

http://www.screen.co.jp/recruit/fresh/business/0 …
上記の会社は前工程会社なので、前工程メインで書いているのかな?と思われるでしょうが

http://www.towajapan.co.jp/rec/about/expand.html
後工程メインの会社も 前工程を詳しくかいている


なのでトランジスタというかLSIというか個別の部品を作っているのは、工程として比率は低いのよね
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