スパッタ

の検索結果 (118件 1〜 20 件を表示)

スパッタの結晶構造について

…はじめまして。 スパッタについて質問します。 スパッタで成膜される薄膜の結晶構造は、化合物ターゲットの結晶構造と変わらないのでしょうか。 例えば、TiO2を化合物ターゲットを用い...…

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ホイールの、ポリッシュ・スパッタ・クローム てどんなの?

…ホイールをみていると、ポリッシュやスパッタやクロームとかいてあります。 クロームはピカピカなんだろうなというのはなんとなくわかるようになってきたのですが、スパッタもピカピカ...…

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アーク放電 と スパッタって同じ意味でしょうか?

…アーク放電とスパッタの違いが分らず困っています。 原理として違いがあるのでしょうか? 初歩的な質問で申し訳ありません。。…

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RFスパッタ装置の反射波

…卒業研究でRFスパッタ装置を使っている者です。 実験のときは最初にマッチングを取り、反射波をゼロにしてからスパッタをしていますが、スパッタ中に急に反射波が出て来てしまいます。...…

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スパッタする時にAlは紫に発光するのに、Cuは緑、Tiは青となぜ色が違うのでしょうか?そもそも...

スパッタする時にAlは紫に発光するのに、Cuは緑、Tiは青となぜ色が違うのでしょうか? そもそもスパッタ時の発光はArの発光ではないのでしょうか? どなたか詳しい方ご教授願います。…

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スパッタ法で、、

スパッタ法にマグネトロンスパッタ法ってあるんですが、原理や特徴をできるだけ詳しく知ってる方、サイトでも結構なんで教えていただいたら嬉しいです^^;…

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素人でもわかるスパッタ

…素人でもわかるようなスパッタの原理とかが 載っているホームページを探しています。 高校生ぐらいにでもわかるようなものがあれば嬉しいです。 よろしくお願いします。…

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スパッタ法による成長速度と真空度の関係を教えて下さい

…現在,卒業研究でスパッタ法による薄膜堆積を行っています.実験を行う前に,真空度の変化に対して成長速度がどのように変化するかを調べたかったのですが,私が見た参考書では,その事につ...…

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DCスパッタ装置にRFスパッタ出来るよう改造します。

…カソードはもとからあるものを使用し、回路をDC/RF選択しスパッタします。 質問したいことはDC側へRFのノイズやその他影響がでないようLCフィルタを入れた方が良いと言われています。 どの...…

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スパッタについて

…私はスパッタについて「イオン化した原子がターゲットに当たり、ターゲットから原子が放出されること。」と理解していますが、なぜイオン化した原子を当てるとターゲットの原子が放出...…

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STO・アルミナの微細加工(ウエットエッチング、スパッタ堆積)

…SrTiO3・アルミナの基板にウエットエッチングで微細加工を行なおうと試みているのですが、フッ酸等の溶液を使ったSTOの加工ではエッチング面が荒れてしまい、燐酸等を使ったアルミナの加...…

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スパッタ装置の作成・・・

…現在、直流電源(600V)を用いたスパッタ装置を作成中なのですが、素人なものでチャンバー内部をどのように作成してよいか分かりません。 スパッタガン、直流電源、Arガスはあります。 他...…

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真空蒸着、スパッタで・・・

…工学部4回生の者です。 薄膜の界面強度に対する温度依存性を研究しています。 融点の低い材料を基板に真空蒸着かスパッタでつけたいんですが、はんだ(Sn合金)をSiやSiO2に直接蒸着させる...…

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スパッタ装置(RFマグネトロン)の故障

…現在研究室でRFマグネトロンスパッタ装置を使っております。 数年前にベンチャー会社から購入したものとのことです。 現在、故障箇所とメンテナンスを必要とする箇所がいくつかある状...…

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スパッタについて

…つまらない質問なのですが イオンスパッタの時に、回転させながらやる方法のことを 発明者の名前をとってなんとか法というらしいのですが その方法のことをなんというのか教えて頂き...…

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アーク溶接のスパッタ付着防止液について

…アーク溶接の、液体スパッタ付着防止剤を使っていますが、道楽で使うには、結構高くて消費が気になります。 そこで、例えば「○○を溶かして使うと、それに近い効果がある」等、"...…

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絶縁物のスパッタ

…DCマグネトロンスパッタ法を用いて酸化チタン(TiO2)の研究をしている 学生です。 そこで質問なのですが、ターゲットとして絶縁物(TiO2焼結体)を用いたと すると、問題なくプラズマは立つの...…

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最高スパッタレートはどれくらいですか?

…・スパッタについて勉強しているのですが、最高スパッタレート[nm/s]を教えてください。 教えてほしいターゲット:Cu,Ni,BST,STO よろしくお願いします。…

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CCP型プラズマ装置の電極スパッタは抑制できるか?

…最近、平行平板電極構成のプラズマCVD装置を使用する機会がありました。 アース電極側に基板を設置し、対向電極にはマッチングボックスを介してRF電源(13.56MHz)を接続した、よく見る構成で...…

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DCマグネトロンスパッタ

…上記の装置を利用してTiO2の高配向性薄膜を作成しようとしているところの大学4回生です。 当然そんな簡単にはいくはずもなく苦労しています。 そこで似たような装置を使ったことがある...…

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