フォトレジスト

の検索結果 (27件 1〜 20 件を表示)

フォトレジストって何ですか?

…化学メーカーの営業マンです。 最近「フォトレジスト」という言葉を耳にしますが、「フォトレジスト」とはどういったことなのでしょうか? 抽象的な質問で申し分けないのですが、教えて...…

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微細加工に伴ったフォトレジストの進化について

…半導体製造においてさらなる微細化を目指して,これからF2レーザやEUV,電子線,X線へと光源は短波長化されてますよね? それに伴ってリソグラフィーにおけるフォトレジストもそれぞれの波長...…

解決

リン酸とレジストの密着性

フォトレジストの基板の密着性でリン酸処理後の洗浄方法によって 密着性が落ちることはあるのでしょうか?…

解決

銅板エッチングのレジスト

…銅板をエッチングして文字を抜こうと思い、塩化第二鉄は用意できたのですがフォトレジストが入手できません。 どこで入手できるか教えていただけないでしょうか。…

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【英訳】私の解釈が、英語の本来の意味とずれていないか、見てもらえないでしょうか?

…The manufacturing of VLSI chips typically involves the repeated patterning of photoresists, followed by etch, implant, deposition, or other operation, and ending with the removal of the exposed photoresist to make way for the new photoresist to be applied ...…

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結像に2種類以上の回折光の干渉が必要な理由

…半導体関連の光学を独学で勉強しているところです。 資料を読んでいると、「ステッパーによる結像では、ウエハー上で少なくとも2つの回折光が干渉する必要がある」とあるのですが、そ...…

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半導体レーザにおける絞り、切れ味

…すみません。 どなたかご存知ならば教えてください。 半導体レーザを使って、対物レンズでフォトレジスト上にビームを集光し露光する実験をしています。 ビーム径の細いレーザビーム...…

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鉄やニッケル鉄などを気化させる

…いわゆる半導体製造時等に出てくる話なんですが フォトレジストでマスクされた部分以外をイオンプラズマ エッチングする方法として、 鉄などの重く何と反応しても気化しずらい物質をエ...…

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有機溶剤ビンからの揮発、蒸発モデル

…仕事でフォトレジストの経時変化を調べているのですが、レジストのビンを開けたままにして、溶媒として使われている溶剤が大気中に揮発、蒸発する量を時間に対してモデル化する場合、...…

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半導体関連のBARCの意味

…レジスト関係の資料を読んでいて、 DBARC(Developable Bottom Anti Reflective Coating) BARC's(Bottom Anti Reflective Coating) CD(Critical dimension) の意味がよく分かりません。 日本語に訳すと、「裏面反射コー...…

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タングステン酸ナトリウムの謎の沈殿について

…タングステン酸ナトリウムの水溶液に 過酸化水素を加えて加熱したら黄色い沈殿ができました. この沈殿はどういったものなのでしょうか? また,この沈殿をまた水溶液に戻す事はできます...…

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シリコンウエハーの親水化

…シリコンウエハーの表面は疎水性だと思うのですが、この表面を親水性にすることは可能でしょうか? 可能でしたらそのやり方を教えていただきたいです。 よろしくお願いします。…

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鉄道模型中小メーカーの金属加工

…鉄道模型で、中小メーカー(例えば銀河モデルやボナファイデ)から金属(ホワイトメタル・真鍮など)で出来たパーツが発売されていますが、あれはどうやって製造したのでしょうか? ご存じの...…

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Siを例に半導体の純度を高める方法

…Siを例に半導体の純度を高める方法を調べているのですが、 まったくわからずに困っています。 どなたかわかるかた、または載っているHPなどを知っている方 回答をよろしくお願い致しま...…

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基板のシルク印刷

…趣味で電子工作をしています。 エッチングで基板を作っているのですが、最近基板上の部品点数が増えてきて挿入位置がわかりづらくなり、部品形状・Noなどを示したいわゆる「シルク印刷...…

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半導体の製造

…半導体の製造過程において、回路の微細化に伴いリソグラフィのための露光光源が短波長化されてきたのはなぜですか? 教えてください!…

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リソグラフィ用のレジストはなぜ波長毎に種類があるのですか?

…20歳代の会社員です. 仕事に関して,リソグラフィについて興味を持ったので調べているのですが,レジストについて分からない部分がありますので質問させて下さい. リソグラフィ用に用いる...…

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フォトリソグラフィー

…線幅50マイクロ程度で銅を用いた回路をフォトリソグラフィーの技術を使って作成しようと思うのですがその時にどの薬品を使えば良いのか全くわかりません。 ネットで調べては見たものの...…

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有機ELのスピンコーティング法について

…ある論文を読んでいたら、「スピンコーティング法」というものが出てきました。 薄膜を作る方法の一つのようなのですが、どのような方法でしょうか? また、この方法で薄膜を作る際、用...…

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電子部品はどこまで小さくなると思います?

…携帯電話やパソコンの小型化、高機能化 内部の電子回路は更に高密度になっていきますよね? モジュール化もすすんでいるようですが 抵抗やコンデンサなどはどのくらいのサイズまでちい...…

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