プラズマCVD法

の検索結果 (13件 1〜 13 件を表示)

ダイヤモンド薄膜のプラズマCVD法による生成について

プラズマCVD法でエタノールでダイヤモンド薄膜を生成しようと試みているのですが、なかなか上手く行きません。 また研究の都合上、水素とメタンを使うことが出来ません。 よくダイヤモ...…

締切

製膜時間について

プラズマCVD法についてですが、 原材料 モノシランSiH4:100%で、 プラズマCVD法により、カバーガラス上に製膜しています。 そこで、現在製膜時間は4時間でやっていますが、 4時間もやる必...…

解決

モノメチルシランって

…現在、プラズマCVD法により、 モノシラン100%で水素化アモルファスシリコンを製膜しています。 これをモノメチルシラン100%にすると、どういったものができるのでしょうか? 水素化アモル...…

解決

CPM(Constant photocurrent method)について

…タイトルの通り、 CPM(Constant photocurrent method)を使用しています。 サンプルは、 カバーガラス上にプラズマCVD法で製膜した水素化アモルファスシリコンです。 膜厚は1ミクロン(1μm)です。 結...…

解決

ECRプラズマ装置でDLC膜の作製

…ECRプラズマ装置を使ってDLC薄膜を作製(研究)しようと考えているのですが、ECRプラズマ装置ではコストがかかるため、やる意味がないと指摘されました。 まだこの分野に入って日が浅いため...…

解決

厚膜によるクラック

…ガラス基板に膜を成膜し熱処理をすると、 厚膜の場合クラックが生じ、薄膜だとクラックが生じないのですが、 この理由は何ででしょうか。…

解決

一定直流電源を可変にするには・・・

…交流200Vから、一定直流500V電源に接続します。 これを可変の電源にするには、スライダックやトランスを使えば出来るのでしょうか? 使用目的は、プラズマCVD(化学的気相蒸着法)のプラズマ...…

締切

比誘電率 kとεr、値が違う??

…以前から比誘電率kについて調べさせていただいたのですが、 kとεrは比誘電率である。 物理の世界でkは「カッパー」と呼ばれるギリシャ文字であり、 比誘電率はεrを使うが、時々kを使う ...…

締切

プラズマ媒質とはどういったものでしょうか?

…プラズマ媒質とはどういったものでしょうか? 電離層やロケットが通った後にできる電子とイオンが半々くらい混じった空気の状態みたいなことを聞いたのですが良く分かりません。 それか...…

締切

CCP型プラズマ装置の電極スパッタは抑制できるか?

…最近、平行平板電極構成のプラズマCVD装置を使用する機会がありました。 アース電極側に基板を設置し、対向電極にはマッチングボックスを介してRF電源(13.56MHz)を接続した、よく見る構成で...…

締切

PVDとCVD

…成膜工程として「PVD」と「CVD」というものがあります。 どちらもプラズマを発生させて成膜を行うと思うのですが プラズマの発生方法がPVDが直流電流を用いて放電を起こすのに対して CVD...…

締切

エッチングについて教えてください。

…シリコン・ウエハーをKOHエッチングし、薄膜を製作した過程です。 1.窒化ケイ素のLPCVD析出. 2.被膜(レジスト層)をスピンコーターで製膜し、露光、現像する. 3.プラズマで窒化ケイ素をエッ...…

解決

CVDについて教えて下さい。

…CVDってなんですか? またそれが何に用いられているのかなど教えてください。…

締切

検索で見つからないときは質問してみよう!

Q質問する(無料)

おすすめ情報

Q&A検索履歴