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XPSを用いて測定したスペクトルの
Fitting がうまくいきません。

光イオン化断面積の大きな準位の
比較的対称なピークさえ、
うまくフィットすることができません…
Gauss関数を用いたFittingではうまくいかないものなのでしょうか?

ピークの形に影響を及ぼす要因は
いくつか考えられるのですが
ピークフィットするにあたり
それぞれの要因に対して、どのように重みをつけるべきなのか
全く分かりません

ピークフィットするにあたってよい方法があれば教えてください

A 回答 (4件)

#1です。

 
◇弾性散乱が主要因です。
お問い合わせの参考資料として、下記HPのNo.1679
XPSにおいて発生分布の非対称に与える弾性散乱効果の検討
佐藤 仁美、田中 彰博、一村 信吾、城 昌利、田沼 繁夫、吉原 一紘
などは kuwamanmaさんのご希望に添える回答として如何でしょうか?

実際、XPS分析にて波形分離すると非対称性入力項がありますネ。

PS;これから出張なので、暫く回答出来ませんが申し訳ございません。

参考URL:http://www-surface.phys.s.u-tokyo.ac.jp/sssj/Vol …
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この回答へのお礼

ありがとうございます
とりあえず、フィット、フィットを実行してみます
では出張頑張ってください。
今後もXPS関係の質問を投げかける事があると思いますが
そのときはどうぞ宜しくお願いします

お礼日時:2003/03/05 09:56

お教え頂き,有難う御座いました.


やはり異なっていたのですね...係る広がりも異なっていたかも知れません..
私,勉強になりました.

以下,一般論のみとなります.

>どちらかが著しく小さい値になっていたような…
>あれにはどういう意味があるのでしょうか?

その場合は小さい方の影響は非常に小さいか,無視してもいいくらいではと思います.
ガウス幅wg,ローレンツ幅wlとして,フォークト幅wvは,

wv= wl/2 + √(wl*wl/4 + wg*wg)

となりますが,wv自体には物理的な意味はないと思います.
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この回答へのお礼

回答ありがとうございます

ピークの幅、位置
それぞれに物理的解釈を付与しなければ
せっかく測定した実験データが
台無しになってしまいますね…

とりあえず
今はガウス関数を用いて一通り
実験データのスペクトルをフィットしているので
後でVoigt関数を使ってフィットしてみたいと思います

補足にまで答えていただき
ありがとうございました

お礼日時:2003/03/05 14:01

XPSとは何か知らず,分光器で発光分光,レーザーで吸収分光しか経験ありませんが,蛇足まで...



フィッティングでガウシアンでうまく行かなそうなときは,
Voigt関数でフィッティングしていました.
原子種によっては,Stark広がりとか圧力広がりでローレンツ幅が混入して来ますが,
Voigtフィットすれば,ガウス幅とローレンツ幅は分離できますので.

バックグラウンドですが,明らかに斜めになっているときは,1次関数を重ねました.

重み付けですが,CCD検出器で観測する多くの場合,ポアソン分布に従うとして,
強度の√を重率としました.

XPSと無関係でしたらゴメンナサイ.

この回答への補足

いえいえ、ありがとうございます

XPS(X線光電子分光法)は光電効果を利用して、
X線を入射することで放出される光電子を
検出して電子状態を調べるものです

理論などの深い知識はないので
はっきりとしたことは言えませんが
励起状態から緩和状態に電子が落ち込むときに
放出されたX線を検出するXES(X線発光分光法)との相関はあり
似ている形のスペクトルが得られます

ピークを増やしたり、Voigt関数を用いてフィットするにあたって
考えるれる因子は異なるとは思いますが…

ところでVogit関数でフィットした時、
Gauss幅とLorentz幅が分離できるとはどういうことですか
たしかに幅のパラメーターが2つ現れるのですが
どちらかが著しく小さい値になっていたような…
あれにはどういう意味があるのでしょうか?

ピーク全体の幅はを知るには
どうすればよいのでしょうか?

補足日時:2003/03/05 09:48
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カープフィッティングの件は、私も悩んだ経験あります。


そのとき得た、エッセンスのみご紹介します。

◇波形分離のポイント!
1.カープフィッティングの基本は、ガウス分布を使う。
 ローレンス分布は、最終手段。
2.波形分離は、必要最小限の数で行なう。
3.波形分離は、原波形の裾野と合成波形が一致するように
 ピーク位置、ピーク高さ、半値幅を決める。
 半値幅は概ね 1.8eV近傍であるが、ズレる場合もある。
4.原波形の裾野とピーク合成波形が合わない場合、新たなピーク存在を考える。
 例)SiO2の場合、SiOの存在。

上記でもおかしい場合には、初心に返り再確認。

◇初心に返り再確認。(測定が正常ないか?)
1.試料は帯電していないか?
 繰返測定では注意必要。
 毎回ピーク位置を確認出来るモードにて測定する。
2.経時変化試料ではないか?
3.測定回数(S/N比)は適当か?
 波形が粗いデータを無理してスムージングしていないか?

上記は XPSをやり始めた17~10年前にかけて、XPS メーカ-5社
並びに分析研究者、計約40名の方へ同一質問を繰り返して
私なりにまとめた結論です。

                  以 上

この回答への補足

御指導ありがとうございます
早速フィットしてみます

あと1つ、もしよろしければ教えてください

理論を大して理解していない僕が
こんなことを言うのもおこがましいのですが
論文のXPSスペクトルを見て
どうも非対称なピークにしか見えないモノも多く
論文では実験に基づいたデータに関する
ピークの幅やエリアについて
述べられてるモノは少ない
(というか見たことがない…)
と感じるのですが
ピークフィットに関して細部まで
(バックグラウンド,用いた関数など…)
述べられている論文などご存知でしたら
教えてください

補足日時:2003/03/03 19:52
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