シリコン基板に酸化亜鉛膜の生成したいのですが

　酸化亜鉛は基盤に対して垂直の柱状に成長させる事が可能との事なので、Si基板上にその様な膜を作りたいのです。（イメージとしては毛の短いブラシの様な）
　何かノウハウはあるでしょうか。

No.3 回答者： ayuhera 回答日時： 2009/08/11 11:49

ブラシのようなものなら、以下のサイトにあります

参考URL：http://www.nanonet.go.jp/japanese/facility/repor …

No.2 回答者： sol-gel 回答日時： 2007/05/14 22:45

垂直の柱状にするには乾式だとなかなか難しいように思います。

アモルファス状になってしまうような気がします。
やったことがないのでなんとも言えないのですが…
液相法は装置も簡単なので参考にしてみる価値はあると思いますよ。

No.1 回答者： sol-gel 回答日時： 2007/05/14 19:09

ＬＰＥ法やＬＰＤ法など結晶成長がしやすい液相法でチャレンジしてみてはどうでしょうか。

LPE…Liquid Phase Epitaxial
LPD…Liquid Phase Diposition

この回答へのお礼

ありがとうございます。
乾式製膜法では無理ですか？設備的にそちらの方が整っているのですが、スパッタなどではどうでしょう。

お礼日時：2007/05/14 19:34