XYテーブルの上に測定物を載せ、動かしながらレーザー変位計で測定物の形状を測定するのですが、測定物を過熱しながら測定するとき、できればふたをして、空気の対流を小さくし、測定物の温度を安定させたいのです。
そこでガラスのふた(培養なんかで使われてるシャーレの様な感じ)などでふたをして、ガラス越しにレーザー変位計で測定したいのですが、ガラスを間に入れることにより屈折、反射により計測が難しいかと思われますが、ガラスの平面度、ガラスとレーザー光との垂直度、ガラスのコーティングにより計測は可能なのでしょうか?
計測物はφ20mmの薄板。ふたの直径120mm、厚さ3~5mm。レーザー変位計の焦点距離30mm。欲しい測定値の精度は1/1000mmです。
何かいい対策等ありましたらよろしくお願いします。
No.2ベストアンサー
- 回答日時:
レーザ変位計の原理というのはいくつかあります.
以下は,「散乱光を三角測量」「直接反射光を三角測量」するようなタイプだと考えますと,
詳しくは,メーカの営業さんにでも聞いていただきたいのですが,
ガラスが間にはいると,光路長が変わりますが,
三角測量では干渉を利用しているわけではないので,
これ自体は関係ありません.
問題は,光線と角度をもった平行板ガラスが間にはいると,光線が屈折により,一定幅で,平行にシフトすると言うことです.
ただし,これは,板厚が一定であれば,そのシフト量も一定ですので,変位計として,「変位」を読むのであれば,無視できます.
ただ,場所によってガラスの板厚が変化する場合には,
そのシフト量も変化すると思いますので,注意が必要になるでしょうね.
(平行板ガラスとは,2つの面が平行ということで,普通の板ガラスです.)
キャリブレーションしてれば良いのでは?
どのみち1回はやりますよね?
キャリブレーションとは,測定物を実際に,動かしてみて,そのときのレーザ変位計の出力値をプロットし,
校正することです.
この回答への補足
メーカーに問い合わせたところ、普通に計測できるそうです。もちろんキャリブレーションが必要とのことです。FM-8様のおかげで予習ができ助かりました。ありがとうございました。
補足日時:2005/04/15 11:18 解りやすい回答ありがとうございます。計測方法はFM-8様の言われる通り散乱光を三角測量するタイプです。板厚が一定であればできるとは思うのですが、いったいどの程度かわからず、ガラス屋さんに精度を上げることはできるが値段も上がると・・・まだ見積もり待ちの状態です。
一度メーカーに聞いてみます。
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