No.1ベストアンサー
- 回答日時:
経験論で申し訳ないですが、私がやった際には、シランカップリング剤の効果は確認することが出来ました。
シリコンウェハ上にシランカップリング剤をスピンコートし、上から樹脂を塗布したんですが、未処理に比較してクロスカット試験では大きな違いがありました。
無論、ひっつける樹脂によっても、必要とする密着性によっても違うかと思いますが・・。
ちなみにシリコンウェハの最表面は、空気中で扱えば基本的に酸化膜(SiO2)になっていますので、シラノール残来も少しあるかもしれませんね。このあたりはなんとも言えませんが・・・(^^;
No.2
- 回答日時:
素人ですが、近くにそういうことをやっているラボがあって、そこの人からの聞き書きです。
No.1さんがおっしゃるように、未処理のシリコンウェハーだと表面は酸化されていて、いくらかシラノールとなっているはずです。そこにシランカップリング剤でもって樹脂を引っかける感じになるのだと思います。
還元処理して完全にSi-Hになっていたら、効かないでしょうけど。
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