SMC洗浄について

半導体装置に使用する部品の洗浄方法について、ＳＭＣ洗浄という方法があると聞いたのですが、これはどの様な洗浄方法なのでしょうか？ＲＣＡ洗浄とはかなり違う洗浄方法なのでしょうか？どなたか教えて頂ければ幸いです。

No.1 ベストアンサー 回答者： TT250SP 回答日時： 2004/05/17 20:39

http://www.san-ai-oil.co.jp/sanai_plant/index.html

↑コレかなぁ。

要は洗浄液に従来の溶剤とかを使わず、純水やオゾン水を使用するみたいですけれども

上記のサイト見て懐かしく思いました
私が洗浄器製ってたころはフロンオンリーでしたもんねぇ
毎日一缶は蒸発させてましたわ（笑）

この回答への補足

早々のご返事ありがとうございました。
私も三愛のURLを見ていました。
SMCはどんな略語なのでしょうか？
RCA洗浄と同じく、SMC社（昔の焼結金属）がやり始めた洗浄方法が広くSMC洗浄として使われることになった
のでしょうか？
お分かりになれば教えて頂けませんか？

補足日時：2004/05/17 21:23

この回答へのお礼

早々のご返事ありがとうございました。
私も三愛のURLを見ていました。
SMCはどんな略語なのでしょうか？
RCA洗浄と同じく、SMC社（昔の焼結金属）がやり始めた洗浄方法が広くSMC洗浄として使われることになった
のでしょうか？
お分かりになれば教えて頂けませんか？

お礼日時：2004/05/17 21:01