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ある本で,溶液の酸化還元電位が大きい(この場合+0.91(V vs NHE))と,Cuなどの貴金属の金属不純物の除去に効果的,と書いています。詳細な状況は,貴金属で汚染されたウェーハをHF/HCL溶液で処理を行った場合,ウェーハ表面に付着している貴金属の除去に効果的である,とのことです。

A 回答 (2件)

ご質問の文章は尻切れになっていますが、とりあえず酸化還元電位の詳しい説明が下記にありますのでご覧になってみて下さい。


http://www.ml.seikei.ac.jp/tsubomura/education/m …
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ふむ、なるほど。



としかこの文章では答えようがありません。
急いでいらっしゃるようですが、落ち着いて質問内容を確認してから投稿してください。
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