No.1
- 回答日時:
Si面方位は、立方晶格子のx,y,z軸で規定された結晶面を示したものであり、(100),(110),(111)が代表的な面方位です。
面方位によってシリコン原子間距離が異なり、そのため多少微視的な性質も変わってきます。面方位に関してはhttp://www2.mitsuya.nuem.nagoya-u.ac.jp/~s-hatto … で。
No.2ベストアンサー
- 回答日時:
こんにちは
通称「オリフラ(Orientation Flat)」なんて言います
基板メーカーのよってどの向きにオリフラを切ってあるか
またはその基板の面方位によっても大きく違うと思います
自分の使用している基板メーカーのHPなどが参考になるかと
大体オリフラは基板表面の面方位(→(100)面とか)に対して
直交する二つの方位を選ぶものです(オリフラが二つあるある場合)
基板面方位が<100>なら<0-11>と<0-1-1>とか
じゃあなぜわざわざ方位の目印を付ける意味があるかというと
その上に何かを堆積した時に異方性が出たりする場合があるからです
ある方位にのみ長く伸びた構造ができるなどなど・・・
結晶軸に関しては教科書に任せます(そっちの方が詳しいので)
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