No.4
- 回答日時:
他の回答者と同じ回答です。
私なりにやさしく説明したいと思います。
シリコンのエッチング液にはいろいろあります。
欠陥を強調したいエッチングをするには遅い速度でエッチングが
進行する液を使います。 ピットはエッチングにより発生することは
確かです。 その原因はピットが発生した部分に不純物あるいは構造的な
不正(欠陥)が有って応力あるいは電気的に一様でない場合エッチングの速度が速まる場合ピットになり逆に遅くなる場合はヒロックと呼ばれる山が発生します。 その他表面の汚れも原因になるかもしれません。
昔の仕事を思い出しました。
No.2ベストアンサー
- 回答日時:
半導体の仕事の経験者です。
まずは、単語の意味から。
pit
http://eow.alc.co.jp/pit/UTF-8/
エッチピットの主要な原因は、その箇所におけるシリコンの結晶欠陥であると、私は認識しています。(仕事仲間も、そう認識していました)
アルファ線、重粒子線、中性子線などの重い放射線を当てると、結晶欠陥ができます。
下記は、その例です。
重粒子線
http://www.nirs.go.jp/report/nirs_news/9801/hik2 …
中性子線(pdfファイルです。6ページ目以降ご参照)
http://www.c-technol.co.jp/pdf/312fbn.pdf
No.1
- 回答日時:
確かにミクロ的に見ると「窪み」の様な感じです。
エッチピットが出来る原因は多々ありますが、介在している不純物や添加物がエッチングにより不均等に腐食して「アバタ状」になる場合。
エッチング対象物を研磨している段階での、表面に対する研磨剤による攻撃とそれに伴うエッチングによる不均等性。
尚、エッチピットは非鉄金属のエッチングにも多々出現します。
防ぐ方法は、電解エッチングなら電解液の濃度調整と電解の電圧、電流調整。溶液腐食なら腐食液の濃度と腐食時間の調整です。
お探しのQ&Aが見つからない時は、教えて!gooで質問しましょう!
似たような質問が見つかりました
- オープンソース IT用語、ソースとオブジェクト、改変と翻訳と翻案の違いなど どのようにりかいすればよいのですか 1 2022/09/09 10:02
- ヘアケア・ヘアアレンジ・ヘアスタイル アミノ酸系シリコン入りシャンプーを探しています。 硬い、癖毛、多い、太い、バサバサの五重苦の髪質です 2 2022/03/22 19:37
- その他(税金) 社会の仕組みについて 宜しくお願いします。 私はもう社会人になって何年も経ちますが、いまだに年末調整 2 2022/12/18 21:34
- 日本語 【合理主義】という言葉の意味について教えてください。 4 2022/08/30 23:21
- 泌尿器・肛門の病気 肛門周辺の痛み 5 2023/06/12 17:37
- その他(悩み相談・人生相談) 育ちが悪いひとって、どんな人だと思いますか? 私は、よく影で「ちゃんとしてるのに、育ちが悪い一面があ 9 2023/05/10 19:02
- 日本語 おみくじで「全て上手く行く」みたいな意味の言葉 諸事○○… みたいな四文字熟語だったのですが思い出せ 5 2023/08/25 22:45
- iPhone(アイフォーン) 今年2月に購入したiPhone14のバッテリーが物凄いスピードで減っていきます。 過充電、Bluet 5 2023/07/26 11:56
- 神経の病気 原因不明の息苦しさ 2 2022/04/16 12:14
- 食器・キッチン用品 シリコン加工されたアルミホイルって毎日使ったら問題ありますか?発ガン性とか... 娘の卵焼き焼くのに 2 2023/02/13 08:46
おすすめ情報
デイリーランキングこのカテゴリの人気デイリーQ&Aランキング
-
アセトアニリドの結晶の収率算出
-
シリコン基板をカットしたいの...
-
分子結晶と共有結合の結晶の違...
-
粒界と粒内について
-
六方晶における格子面を(0001...
-
X線回折(XRD)分析の半値幅について
-
3価Euにおける電気双極子遷移と...
-
結晶粒径と硬さについて
-
水道水を沸騰させ続けると 透...
-
単結晶シリコンの結晶方位
-
アモルファスについて
-
結晶の面方位について
-
トランジスタ:エピタキシアル...
-
ホウ酸の大結晶の作り方
-
フォノンのモードについて
-
過冷却の起こりやすい金属
-
薄膜結晶について
-
物理について質問です。お願い...
-
シリコンウェハ作製法のCZ法とFZ法
-
氷のモース硬度っていくつ?
マンスリーランキングこのカテゴリの人気マンスリーQ&Aランキング
-
六方晶における格子面を(0001...
-
標準溶液の規定度係数を求める問題
-
X線回折(XRD)分析の半値幅について
-
固体結晶中の電子の三態は定義...
-
シリコン基板をカットしたいの...
-
結晶粒径と硬さについて
-
水道水を沸騰させ続けると 透...
-
半導体デバイスはなぜ単結晶で...
-
アモルファスについて
-
バルク状って・・・・?
-
有機EL ツーリングファクタ...
-
シリコンウェハの結晶方位
-
単結晶シリコンの結晶方位
-
電子顕微鏡の試料に蒸着
-
アセトアニリドの結晶の収率算出
-
製膜と成膜の違い
-
結晶の面方位について
-
分子結晶と共有結合の結晶の違...
-
フォノンのモードについて
-
石が透明に見えるのは何故なん...
おすすめ情報