卒業研究でRFスパッタ装置を使っている者です。
実験のときは最初にマッチングを取り、反射波をゼロにしてからスパッタをしていますが、スパッタ中に急に反射波が出て来てしまいます。あまりに大きな反射波が急に出てくるので、プラズマが消えてしまいます。マッチングはその都度取れますが、実験を再開してしばらくするとまた急に反射波が出て来てプラズマが消えてしまいます。
ターゲットなど、何かがショートしているのかと思いテスターで調べてもショートしている箇所など見つかりません。真空度や温度も正常でした。
急に大きなリフレイションが出て来てしまう理由が全く分かりません。
原因や思い当たることがある方、教えていただけませんでしょうか?
A 回答 (4件)
- 最新から表示
- 回答順に表示
No.2
- 回答日時:
突然反射が増えて、そのせいで放電が止まるのでしょうか。
その逆で放電が止まったために反射が増えることも考えられます。また、もし自動チューナ付きのマッチングシステムだと、チューニング可能域を超えると途端に反射が増えることになります。
チェンバ内の異常放電(アークなど)がきっかけになることがあります。非導電膜をつけるときは炉内で電荷が溜まっていくところがないか注意が必要です。
周波数が解りませんが、波長の数分の一くらいの単位でケーブル長を増減すると防げることがあります。
この回答への補足
回答ありがとうございます。
反射が発生しても投入電力のメーターはゼロにはならないので、おそらく反射が増えて放電が止まったのだと思います。
私が使っている装置は、自動チューナー付きの物では無いです。また、チャンバー内の異常放電ですが、スパッタしているのは非導電膜ではありません。
気がついたのですが、どうやら装置に少し衝撃を与えたり投入電力を大きくすると、わずかにビリビリという音がして反射が出るようです。
解決策などがありましたら、教えていただけませんでしょうか?
No.3
- 回答日時:
>ターゲットなど、何かがショートしているのかと思い
RFでショートするようなものはテスターでは測れません。
テスターで計測できるのはDC的にショートするものだけです。
反射波が出る時に、どのような物理現象が起きているのかよく観察してください。
No.4
- 回答日時:
再度tanceです。
ビリビリ音がして反射が増えるということは、どこかでアーク放電しているのではないでしょうか。他の方のおっしゃるようにパッシェンの法則に従ってチェックしてみたら何か解るかもしれません。アーク放電なら目視も可能だし、放電痕もあるかもしれません。
なお、反射が非常に多い状態でも、投入電力は依然として存在します。電力はRF源の装置から出て行って、チェンバのマッチング回路で負荷とマッチングせずに反射します。出て行ったパワーがチェンバ内部に入らずに戻ることになります。チェンバ内に入らないので当然プラズマはできません。(放電が消えている状態)
では、戻って来た電力はどうなっちゃうのでしょうか。それはジェネレータ内部に戻って来てそこでエネルギーを放出します。ジェネレータとしては非常にきつい状態です。これで壊れる装置も多いです。
オートチューナではないということですから、アークなどがあっても、それが消えれば元のマッチング状態に戻るはずです。それが戻らないのであれば、やはりチェンバ内の異常放電が連続しているのでしょう。
そうだとすると、ケーブルの長さを変えたりしても意味がありません。異常の元になる現象を無くすしかないでしょう。真空度にもよりますが、構造上、部分的に真空度にムラがあることもあり得ます。ベーキングが不十分だったりすると、特定の部分でアークが飛ぶことは十分あり得ます。地道に探すしかないのではないでしょうか。
お探しのQ&Aが見つからない時は、教えて!gooで質問しましょう!
似たような質問が見つかりました
- その他(応用科学) 【放射温度計】は、地球上の全ての物体が温度に相当した赤外線を反射する性質を利用したもの 4 2023/03/14 23:11
- 軍事学 反水素とは? 高出力光線銃とかは放射能光線とかプラズマを使うけど 反水素ってどんなやつ? 例えばロケ 4 2023/07/03 13:45
- エアコン・クーラー・冷暖房機 4歳児又は幼児の咳・熱に詳しい方 1 2023/06/23 17:32
- その他(自然科学) 日射量と太陽光発電の効率について 1 2022/06/18 16:04
- 書類選考・エントリーシート 証明写真の眼鏡の反射について 6 2022/12/21 19:13
- 呼吸器・消化器・循環器の病気 23歳 男 異常な嘔吐反射に悩んでいます 歯磨き中に嘔吐反射起こるのは、高齢者に多いと思いますが、こ 2 2023/05/19 11:20
- 化学 【日本のトリチウム水の処理の不思議】 日本政府「トリチウム水は濾過されており十分に 11 2023/08/28 20:43
- 物理学 高校物理です。 (1)がよく分かりません。 Oから出た波が壁で反射する時、位相は変わらない。また、入 1 2023/07/28 13:57
- 都市伝説・怖い話 イルミナティ・ディープステイト・ㇵザールマフィアの回し者である関暁夫君がやりすぎ都市伝説 1 2022/12/23 22:26
- 物理学 『光の反射』 7 2022/10/26 09:48
このQ&Aを見た人はこんなQ&Aも見ています
おすすめ情報
このQ&Aを見た人がよく見るQ&A
デイリーランキングこのカテゴリの人気デイリーQ&Aランキング
-
反射材のついたイヤホンはあり...
-
僕の真後ろに窓があって、
-
ブラッグの式で使われるn次反射...
-
どれが本当の自分の等身なので...
-
SEM写真について
-
dsinθ=mλという式の導出
-
RFスパッタ装置の反射波
-
男性が後ろ姿を見つめるのって...
-
1円玉こするとなんで手が黒くな...
-
集中定数回路でのSパラメータの...
-
偏光フィルムにはどんな種類が...
-
ハーフミラーの構造と原理について
-
レーザー光の交差
-
金箔を透過すると青いのはなぜ?
-
何故固定端反射で、反射面で、...
-
VSWRとリターンロスの計算式
-
銀マットの銀面が熱を反射する...
-
球殻の内面が鏡張りだったら?
-
金属面での反射光は偏光されな...
-
金属光沢除去フィルターの原理
マンスリーランキングこのカテゴリの人気マンスリーQ&Aランキング
-
どれが本当の自分の等身なので...
-
SEM写真について
-
dsinθ=mλという式の導出
-
ブラッグの式で使われるn次反射...
-
コンクリートブロック用の反射...
-
僕の真後ろに窓があって、
-
RFスパッタ装置の反射波
-
VSWRとリターンロスの計算式
-
マイクロ波導波管の実験で、導...
-
固定端反射の時位相がずれるの...
-
光の散乱と反射の違いについて
-
ハーフミラーの構造と原理について
-
超音波探触子について
-
銀マットの銀面が熱を反射する...
-
声の大きさと聞こえる範囲
-
PSPのランプ
-
偏光フィルムにはどんな種類が...
-
固定端反射と自由端反射の起き...
-
振幅反射係数
-
「手の指が内臓につながってい...
おすすめ情報