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スパッタリング法

締切済

  • 質問者：runrun_2015
  • 質問日時：
  • 回答数：2件

直流スパッタリング法では金属ターゲットはスパッタできるけど絶縁体ターゲットをスパッタできないと教わりました。
そこで疑問に思ったのですが、半導体ターゲットは直流スパッタできるでしょうか？
教えてください。よろしくお願いします。

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A 回答 (2件)

No.2

  • 回答者： ngkdddjkk
  • 回答日時：

できるだろうけど、熱を持って蒸着法に近くなるだろうね。

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No.1

はじめまして！


大手の下記会社にお尋ねすることができますよ！

・キャノンアネルバ
・アルバック
・三菱マテリアル
ホームページより問い合わせ可能です！
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