HMDS（ヘキサメチルジシラン）が及ぼす人体への悪影響について

HMDS（ヘキサメチルジシラン）が及ぼす人体への悪影響についてお聞きしたいのですが、私の勤める会社では半導体を作る工程で、シリコンウェハーとレジスト液の密着性を促進させるのに使用されているHMDS（ヘキサメチルジシラン）という有機溶剤を使用しています。それをウェハー上に垂らして高回転させる際にHMDSのきつい異臭を感じます。HMDSは発ガン性のある薬品だとも聞きますが、その危険度はどのようなものなのでしょうか。どなたかHMDSについて詳しく教えてください。よろしくお願いいたします。

No.1 回答者： OKWebAdmin 回答日時： 2001/07/28 20:46

管理者より：

同等の質問があるのでそちらをご参照下さい

参考URL：http://www.okweb.ne.jp/kotaeru.php3?q=109771