機器分析のプローブとは？電子線とは？

機器分析法におけるプローブとしての電子線のメリット・デメリットについて説明してください。。。。。

No.1 回答者： goobest_2004 回答日時： 2005/07/30 02:02

とりあえず今すぐ思いつくもの。

メリット
・走査しやすい、扱いやすい
・走査可能範囲が広い
・電子状態や構造を見れる
・電子波長を加速電圧で自在に変えられる
・遠くから電子ビームを当てれる

デメリット
・試料の導電率悪いとチャージアップ
・試料の陽極酸化（真空度悪かったりコンタミがあると）
・収差が生じる
・大気中・水中では使えない
・高電圧回路が必要

など。