No.1ベストアンサー
- 回答日時:
基板材質、基板温度、成膜条件等によって成膜する被膜の結晶構造はことなると思います。
チタニアのスパッタでの成膜でも、ルチル型チタニアをターゲットにしてもアナターゼ型の膜を得る方策がないとはいえないはずです(逆にアナターゼをターゲットにしても必ずアナターゼが成膜するわけではない)。
(ダイヤモンドをターゲットにスパッタ成膜しても必ずダイヤモンドが成膜されるとはいえませんね。多分アモルファスダイヤモンドの成膜が精一杯のはずですよね 逆にグライファイトをターゲットにスパッタ法で成膜すると、成膜条件を選べばアモルファスダイヤモンドまでは成膜が可能です ダイヤモンドが成膜可能というと少し嘘くさい)。
この回答へのお礼
お礼日時:2006/08/07 11:44
回答ありがとうございました。
やはりルチル型ターゲットでも、アナターゼ型の膜が得られる可能性はあり得るのですね。
ということはX線回折などの結果で、どのような結晶構造の膜ができたか判断するしかなさそうですね。
お探しのQ&Aが見つからない時は、教えて!gooで質問しましょう!
似たような質問が見つかりました
- 化学 結晶構造と結晶格子の違いを教えて下さい。 1 2022/08/03 21:29
- 化学 金属の同素変態の生じる温度と結晶構造の変化を調べるているのですがなかなか見つかりません。 鉄(Fe) 1 2022/04/22 19:10
- 工学 結晶で、置換される構造の「母構造」って英語でどう言いますか? 1 2022/08/25 17:25
- その他(自然科学) ビスマス結晶の構造色について、なぜ凹凸ができるのでしょうか? 2 2022/09/04 18:59
- 化学 高校化学についての質問です。 硫酸銅5水和物CuSO4・5H2Oの結晶1.200 gを質量10.00 2 2022/04/22 18:02
- 化学 三次構造を形成する力は親水的相互作用、静電的相互作用、水素結合、分子間力などですか。お教えください。 2 2023/02/06 09:56
- 生物学 至急!生物基礎に関する質問です! 1 2022/08/18 13:21
- 化学 化学式から合成経路って分かる物なのか? 3 2022/04/03 01:42
- 化学 この問題の(ウ)についてです。金属結晶は、金属の陽イオンと自由電子で構成されていると習いました。です 4 2022/08/26 16:54
- テレビ 液晶の構造に詳しい方教えて下さい。 4 2022/05/21 23:56
おすすめ情報
デイリーランキングこのカテゴリの人気デイリーQ&Aランキング
マンスリーランキングこのカテゴリの人気マンスリーQ&Aランキング
おすすめ情報