短冊板形状の両持ち梁の上面に、圧縮応力を持つ膜を蒸着により形成し、
梁を凸型にたわませたいとき、
蒸着する膜の応力と梁のたわみ量はどういう関係になるか、
どなたかご教示いただけないでしょうか?
ちなみに梁はAlなどのメタル材料で、膜はSiNやSiOを想定しています。
(1)まず、蒸着する膜の厚みが梁の厚みよりも充分小さい場合、
以下の式でよいのでしょうか?
(右辺に係数4/3がついている式を見かけたこともあるのですが)
σ=(δ・E・T^2)/((1-ν)・L^2・Tf)
σ:膜の応力、δ:梁のたわみ、E:梁のヤング率、T:梁の厚み、ν:梁のポアソン比
L:梁の長さ、Tf:膜の厚み
(2)蒸着する膜の厚みが梁の厚みに対して無視できない場合、
どう考えればよいでしょうか?
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