No.2ベストアンサー
- 回答日時:
先の「なぜいろんな波長向けのレジストがあるのか」という質問と併せて考えるに、
質問者様は「回析限界」についてご存じないのかと感じました。
「回折限界」「レイリーの式」で検索してみてください。よいサイトがたくさんヒットします。
「光の波動性・粒子性」といった量子化学的なお話になります。
基本は「波長の1/4より小さいサイズの像は投影できない」です。
短波長の光源や光学系が簡単に安くは作れないので、ここ数十年で少しずつ技術アップして短波長化してきています。
「液浸」なども現在のキーワードですので調べてみてください。
あと「レジストの感度」というと、「どのくらいの強度の光で使えるか」をさす事になり、波長ではなくて強さ(光強度や当てる時間)に関する事になるのでご注意ください。
タイトルは「短波長だと弱い光でもOK」という話、本文は「短波長だと微細なパターンがかける」という話をしていることになります。
正しいタイトルは「短波長化による高解像度化」だと思います。
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