MEMSとLSIの関係について

MEMSについて興味のあるLSI設計者です。
MEMSとは、機械・電子・光・化学などの機能とLSIなどの電気信号(処理）を複合したもの、と捉えています。もし、このような理解で正しければ、LSI等のDigital部分にはマイコンなどが搭載されるということでよろしいでしょうか？
それとも、MEMSとは機械・電子・光・化学などの機能をLSIの微細化製造技術を用いて小型化したもの(Digitalな部分はない)なのでしょうか？

とりとめもない質問で申し訳ございませんが、
何卒よろしくお願いいたします。

No.1 ベストアンサー 回答者： semikuma 回答日時： 2008/10/31 12:55

MEMSとはMicro Electro Mechanical Systemsの略で，半導体製造技術を用いて作った微小な「機械」です。

http://www.cqpub.co.jp/DWM/Contents/0078/dwm0078 …
http://www.signal.co.jp/vbc/mems/info/index.html
従って，一般にはマイコンなどは搭載されていません。

最近では組合わせる技術も開発されつつあるようです。
http://techon.nikkeibp.co.jp/article/NEWS/200801 …

この回答へのお礼

ありがとうございました！！
非常に助かりました。
いずれにしても、今後の可能性が期待される製品ですよね。
果てしなく難しい内容に思えますが、
いずれ当然のごとくなり、私たちの生活を変えてくれるものと期待します。
ご丁寧な回答ありがとうございました！！

お礼日時：2008/11/10 14:44