スパッタについて

私はスパッタについて「イオン化した原子がターゲットに当たり、ターゲットから原子が放出されること。」と理解していますが、なぜイオン化した原子を当てるとターゲットの原子が放出されるのか理屈が分かりません。
自分なりに調べてみるとカスケードという言葉が出てきたのですが、カスケードとはどのような本に説明されているのか、またスパッタと関連があるのか、どなたか分かる方力を貸してください。よろしくお願いします。

No.2 ベストアンサー 回答者： sanori 回答日時： 2004/03/14 01:30

なーに。

簡単なことです。
カスケード(cascade)衝突とは、自動車事故で言えば玉突き衝突のことです。すなわち、ぶつかられたものが、さらにまた他へぶつかる。これが次々続く。
ビリヤードで突いた玉が、ほかの静止した玉へ斜めにぶつかると、その玉は斜め方向に飛ばされますね。これがさらにほかの玉へ斜めにぶつかると・・・、というふうに繰り返していくと、最後のほうの玉は、最初に突いた玉が走った方向とはかなり角度が変わった方向に飛ぶわけです。
ここでビリヤードの玉を原子に言い換えればＯＫ。
したがって、固体表面に原子を入射すれば、カスケード衝突の結果、いくらかの確率で固体表面から飛び出してくる原子があるのです。

入射原子の数に対してどれだけ原子が飛び出すかを「スパッタ率」と言います。
固体表面に対して、おおむね４５°ぐらいの角度で入射原子を当てれば、スパッタ率が大きいと私は記憶してます。

No.1 回答者： noname#13376 回答日時： 2004/03/13 02:56

多分、参考ＵＲＬの説明がお役に立てるように思います。

「加速された粒子が固体表面に衝突したとき、運動量の交換によって固体を構成する原子が空間へ放出される」

こたえは「運動量の交換」とありますね。

また、カスケードについては、参考ＵＲＬ（２番目）の中から「中高圧力下のスパッタリングにおける粒子輸送過程」という論文を読むと分かるのではないでしょうか。

私は分からなかったけど(^_^;)。
一応、経験者ですが、成績悪かったし(^_^;)。

参考URL：http://amorphous.xtal.nagoya-u.ac.jp/research/eq …