グロー放電について

スパッタ法の勉強をしているのですが、RFマグネトロンスパッタで起きる放電はグロー放電ではないのでしょうか？DCスパッタなどの直流でしかグロー放電は起きないのですか？

No.1 回答者： yhr2 回答日時： 2015/03/03 22:54

詳しくはないので、的を外しているかもしれませんが、スパッタの機能そのものには「グロー放電」は必要ありません。

　ただし、DCスパッタでは、ターゲットから発生した電子が、付着させたい基板に吸い寄せられ、結果的に電流が流れ、「放電」現象になります。つまり、「結果として」グロー放電が起こっているということでしょう。

　RFマグネトロンスパッタは、これを改善し、基板に電子が衝突することによるダメージを回避するため、スパッタリングした粒子は基板に届くが、ターゲットから発生した電子はマグネットで基板に向かわないようにするものです。つまり、マグネットで電流が流れないようにしています。
　RFマグネトロンスパッタでは、発生した電子が不活性ガスの軌道電子をたたき出してイオン化しますが、これらの電子はマグネットでターゲット付近にとどまりますので、基板との間に電流は流れません。
　電流が流れない＝グロー放電していない、ということです。

　また、高周波（RF）は、絶縁物のターゲットにも適用できますので、この場合にはターゲットは「電極」ではないため、「電極間」に発生するグロー放電は起こらないということかと思います。