SiO2薄膜の表面分析方法について

タイトルどおりなのですが，SiO2薄膜の表面分析方法について質問があります．
基板上に蒸着したSiO2薄膜の表面分析を行いたいのですが，一般的にはSiO2薄膜の表面分析に用いられている方法はどんな方法があるのでしょうか？また，当方全くの初心者なのですが，表面分析方法について入門書的なもの，より実用的なものがあれば教えてください．
よろしくお願いします．

No.3 回答者： sanasha 回答日時： 2007/05/01 13:17

一概に表面分析といっても目的によって分析器が異なりますが。

以下、一般的なもの

・ＥＤＸ付きＳＥＭ　　表面観察して元素(化合物ＯＫ)定量
・ＡＥＳ(オージェ)　　深さ方向(組成％まで)定性　層間拡散
・ＳＩＭＳ　　　　　　深さ方向(組成ｐｐｍまで)ドーパント解析
・ＥＰＭＡ　　　　　　定性(組成)
・ＡＦＭ　　　　　　　三次元形状(ウェハー欠陥など)　
・ＳＴＭ　　　　　　　表面観察　　

くらいかな。後、内部構造まで観察したいとなるとＴＥＭかな。

No.2 回答者： xsw2zaq1 回答日時： 2007/04/30 21:02

おそらく同じような業界の方のような気がしますが。

。。f^^;

入門書はよく知りません。自分は初心者で実務から入った人間です。

表面分析といったときに、どの深さまでを分析するかで分析方法は変わってきます。

ホントに最表面の分析なら、Tof-SIMSを使うことになるでしょう。
ただし、Tof-SIMSは、分析するのにそれなりの知識を必要とします。

No.1 回答者： sanori 回答日時： 2007/04/30 18:19

なんと！

神戸製鋼の
「表面分析ハンドブック」
の本文がネット上に公開されていました。
http://www.kobelcokaken.co.jp/zigyou/kadaikaiket …

ＳｉＯ2薄膜の場合は、第２章の６，１３，１５、１８，１９　は、あまり使わないと思います。
２と１７は、よく使います。