スパッタ装置（ＲＦマグネトロン）の故障

現在研究室でＲＦマグネトロンスパッタ装置を使っております。
数年前にベンチャー会社から購入したものとのことです。現在、故障箇所とメンテナンスを必要とする箇所がいくつかある状態です。しかし装置メーカーは倒産してしまいメンテナンスを直接頼む会社を失ってしまいました。そこで他社のスパッタ装置でもメンテナンスしてもらえる企業を探してます。ご存知ではありませんか？？
ＨＰや企業名を教えていただけると助かります。

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以下に現在の装置の問題点を書きます。
(1)基板ヒーター：最高温度が９５０℃のヒーターですが５００℃程までしか加熱ができません、熱電対の交換や配線をお願いしたいと考えています。
(2)カソード：装置は２基のカソードがありますが、プラズマのたち方が不安定であるため一度見てもらいたいと考えております。

No.1 回答者： bibendumbibendum 回答日時： 2009/11/10 22:01

大手ではアルバック、キャノンアネルバ、中堅では芝浦エレテックなどがあります。

私のすんでいるところには小さなメーカーで小回りがきくところはあります。どの地方にもあると思うので、県の中小企業＊＊＊とか、商工＊＊＊＊などというところで紹介をうけたらどうでしょうか。

ここからは年寄りの小言です。
熱電対くらい自分でかえなさい。
プラズマのたちが不安定なら、マッチングがうまくとれていないです。
マッチングボックスを直しなさい。

もしあなたが研究者をめざすなら。
青色LEDの中村修二さんは自分でCVDを改造していましたよ。
このくらいできなくては研究者にはなれません。

もしあなたが企業で技術者として働くなら。
このくらいのメンテナンスが当然の業務になります。

この回答へのお礼

大手ではアルバックさんや中堅会社ではサンユー電子さんとお話しましたが他社のスパッタ装置のメンテナンスは承らないとのことでした。
そのためスパッタ装置を売っていなくてメンテナンスを中心に行っている会社を探しているところなのです。

熱電対の取替えや自分でできそうな範囲のことはbibendumbibendumさんのおっしゃるとおり自分でやってみます。しかし専門技術が必要な問題もありますので引き続き会社を探してみます。

ご回答ありがとうございます。

お礼日時：2009/11/11 17:41

No.2 回答者： ha001 回答日時： 2010/02/08 10:09

私の会社も真空装置メーカーですが、自社のものでもメンテナンスは結構高価になります。

下記は、真空メーカー開発部門出身者が独立した会社でスパッタ関連に強いと思います。
所在は神戸ですが、海外ユーザーも多くいるようですから顧客の所在地は、問題にならないと思います。
社　名　：　エスバック

　　所在地　： （ 本 社 ）
　　　　　　　　　〒６５２－００４６
　　　　　　　　　神戸市兵庫区上沢通８丁目７番１２号
　　　　　　　　　ＴＥＬ：[phone]
　　　　　　　　　ＦＡＸ：[phone]


http://www.s-vac.co.jp/kaishaannai.html