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質問があります。
ソーダガラスの粉末がシリコンチップ表面に付いたキズから入り込んだ場合、ガラス成分のナトリウムが影響してリーク電流が発生することは考えられますか?
またその場合、ナトリウムはどのような状態で存在するでしょうか。
教えていただけると助かります。

A 回答 (1件)

想定されている状況が なんだか非現実的ですね。


>ソーダガラスの粉末がシリコンチップ表面に付いたキズから入り込んだ場合
と言われても、粉末が傷に入っても、(シリコンチップの酸化膜を作るような感じの)高温で処理しない限りは、「入り込む」ことはありませんね。
たしかに チップ表面の酸化膜(保護膜)にナトリウムが混入するとナトリウム原子がシリコン内を動いて電気が流れことでICがダメになります。が 今は酸化膜にリンなんかの大きな原子を入れることでナトリウムの動きを封じているので少々の事ではダメになりません。
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この回答へのお礼

ご回答ありがとうございます。
ナトリウムはガラス膜をソーイングするときの水や添加剤と一緒にキズに入ったようです。
不具合が顕在化したのはリフロー後です。
推測ですがキズの部分がリフローによりpn接合部まで延び、そこでナトリウムがなにかしらの影響を及ぼし、寄生ダイオードが作られてしまい、リークパスができたのでは、と。
ただ本当にこんなことが起こるのか、ナトリウムはどのような挙動をするのか分からず質問させていただきました。

お礼日時:2022/05/20 17:08

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