薄膜

実験で真空蒸着法で薄膜をつくりました。
母材の組成比と薄膜の組成比が異なるのはなんでだろう？わかる人おしえてください

No.1 ベストアンサー 回答者： siegmund 回答日時： 2002/05/18 22:10

材料を一旦蒸発させて基盤にくっつかせるのが真空蒸着です．

A,B の２種類の材料があるとして，同じ温度でも材料によって蒸気圧が違います．
したがって，「仕込み」は A:B が 1:1 でも，
蒸気の割合は 1:10 なんてこともあるわけです．
だからこそ，融点が高くて蒸気圧の低いタングステンのボートの上に材料をのせて
加熱するのです．
また，仮に同じ蒸気圧でも，材料によって基盤への凝縮割合が違います．

この回答へのお礼

わかりました、助かりました。ありがとうございます＊これをヒントに一生懸命娩今日します

お礼日時：2002/05/19 10:34