No.1
- 回答日時:
直接的な回答ではないのですが、半導体関連のご質問は、『技術の森(Powered by Okweb)』の『半導体』カテゴリーで質問した方が、より正確な回答が得られると思います。
okwebと併用して質問してみては如何でしょう?
私も『CAD』や『プラスチック金型』カテゴリーでお世話になっています。
参考URL:http://mori.nc-net.or.jp/index.php3?KN_Sess=8&KN …
No.3ベストアンサー
- 回答日時:
一般論しか答えられませんが、とりあえず。
MPA(ミラー・プロジェクション・アライナー)方式は、
原則、等倍の反射結像系により、マスク像を1倍で、ウエハ上に
投影していきます。
従来は、ステッパの1世代前の露光技術と考えられていましたが
大画面化が比較的容易であることから、最近では、大判液晶を焼く
のに、一般的に多用されています。
MPAでは、ウエハ上をイッキに露光するのではなく、マスクと
ウエハを、線状の光源/光学系に対して順次等速走査することによって、
概略線状の範囲を順次露光することになります。
(そんなに大きな範囲をイッキに露光する光学系も光源系も、たとえ
1倍であっても非常に困難ですから・・・)
ですから、MPAでは、途中で止めても、あるチップが生きるか
死ぬかは明確でなく、むしろ途中露光で死ぬチップが必ず1行ある
と考えるべきでしょう。
また、等速等倍露光を前提としたシステムであるため、
アライメント精度などの関係から、途中から再開することは、難易度が
高いと思います。
さて、ステッパは、ご存知のようにマスク(レチクル)を通常、
1/4~1/10程度に縮小投影し、ステップ&リピートしながら
シリコン上に、1つまた1つとチップを焼いていくわけです。ですから、
ある場所でSTOPしても死ぬのは、最悪1チップなわけです。
最近のステッパはアライメント精度も非常に高く、再開もしやすい
ことと思います。最高品位のステッパで焼く石に、非常に高いものが
多いこと、12インチなどシリコン単価の高いものが主流になったという
ことなどが背景にあると思います。
この回答へのお礼
お礼日時:2003/02/19 22:02
ステッパー作業に関しても
アライナー作業にくらべて
とても容易で、
アライメントずれ(アラズレ)も
まったく無い!・・・
納得~!
大変参考になりました!!!
またわからないことがありましたら
よろしくお願いします!!!
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