電極の取り方

酸化チタン(TiO2)のルチル単結晶に金属電極を真空イオンビーム蒸着で付けたいと思っています。
どのような種類の金属であればオーミック特性が得られるのでしょうか？
また、その電極を薬液処理で取るとしたら、どのような酸やアルカリ溶液が適しているでしょうか。
以上2点お願いいたします。

No.1 ベストアンサー 回答者： mukiken 回答日時： 2003/05/01 12:29

一般的にはよくIn-Ga合金で酸化チタンに接触を取ると

オーミックコンタクトになるといわれています。

「電極を取る」というのは取り除くという意味でしょうか？
　酸化チタンは熱濃硫酸などの、濃い酸以外にはほとんど溶けないので、電極の金属をよく溶かす酸で洗えば良いと思います。

オーミック特性については、酸化チタンの仕事関数がよくわからないので、なんとも言えませんが、

各金属の仕事関数(eV)は以下の通りです、参考になれば幸いです。
I 2.8
Pm 3.1
Gd 3.1
Tb 3.1
Dy 3.1
Ho 3.1
Er 3.2
Tm 3.2
Lu 3.2
Sm 3.25
Ra 3.25
Th 3.3
U 3.3
Sc 3.3
Y 3.3
Nb 3.3
Hf 3.5
Mg 3.65
Tl 3.7
In 3.8
Mn 3.8
Be 3.9
Ti 3.9
Zr 3.9
Si 4.0

参考　「電極および電極関連材料」　須藤　一　著

この回答へのお礼

お返事ありがとうございました。
参考であげて頂いている本を一度確認して
みたいと思います。

お礼日時：2003/05/02 12:41