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No.1
- 回答日時:
ソープメータという物を知りませんが、普通のMFC(マスフローコントローラ)で数%のオーダは出ると思います。
使用しているだけなので大雑把な説明ですが、MFCは、流量を測る変わりに、2点間の温度を測って(TCゲージと同じ原理)、ガスの持ち去った熱量を測定し流量を計算します。その値によって中に入っているオリフィスを開閉し流量をコントロールしています(とぼくは、思っているが違うかも)。この事からガス依存があります、普通は、N2で校正されています。と書きましたが、MFCの会社に仕様を言って相談するのがよいと思います。会社は色々ありますがエステックとかMKSとかが有名です。値段は、2~40万位だと思います。もし流量が一定である、つまりコントロールする必要がない場合は圧力を測るゲージのみでいいとおもいます。
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