ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）の画像が出ません

導電性のサンプルのＳＥＭを取ろうとして加速電圧を
かけたのですが、ＴＶ画面が砂嵐のようになっていて
まったく何も見えず、たいへん困っております。

倍率やワーキングディスタンスを変えてみても画像は
まったく動かず砂嵐のままですし、加速電圧を上げて
もまったく画像が変わりません。

フィラメントを見ても切れている様子はありませんし、
チャージアップが原因かと思いサンプル台だけを見よ
うと試みたのですが、やはりモニター画面は砂嵐のま
までした。

このような現象が現れた場合、どのようにしたら画像
を出すことができるのか、どなたか教えてください。
よろしくお願い致します。

No.3 ベストアンサー 回答者： Iolite 回答日時： 2004/12/08 13:31

機種にもよると思うのですが、もしかしたら絞りの位置がズレていませんか？

私が使っていた装置で像が出なくなる原因の第1位が、初心者が絞りを適当に触ってしまってズレてしまう、というものでした。

この回答へのお礼

ご返答ありがとうございます。ビンゴでした！！
ずっと昔にもこのような状況がありまして、その時は技官
の方に直していただいたので忘れておりましたが、ご回答
を拝見して思い出しました。
今ではすっかり直って、以前より調子が良い程です。
どうもありがとうございました。

お礼日時：2004/12/19 10:34

No.2 回答者： kanchanrisu 回答日時： 2004/12/07 16:50

さすがに登録から時間がたっているのでもうなんらかの処理をされているかとは思うのですが。

確か、カレントの加速電圧の設定以外にもう１つ設定するパラメータがありませんでしたか?(私がつかっていたのはJEOLの機種ですが)この設定をうっかり上げるか下げるかしたために生じたものではないでしょうか?その場合は設定値に戻してやるだけで画面が得られると思います。(すいません、何分今は電顕にさわってないので、そのパラメータの名前は失念してます。)
もしくはコントラストと明るさの設定がとんでもなく高く設定されている場合に生じ易い現象にも思われます。もし未だ解決されていないようでしたら、一度コントラストと明るさの設定を最小にして、徐々にコントラストを上げながら明るさを調節するとうまくいくかもしれません。
焦点深度はあっているのですよね?サンプルステージも見えないんじゃ、後者の可能性が高い気がするのですが…。
ただ、普段質問者さまだけがご使用なのでしょうか、その機械は?共通器機でしたら、前回使用者の使用設定値などのLOGはないのですか?

この回答へのお礼

いろいろと状況を考えてくださってありがとうございました。

お礼日時：2004/12/19 10:26

No.1 回答者： mhi98o 回答日時： 2004/12/07 01:56

個人で直せるレベルなのかどうかを説明書を確認するか業者の方に電話で聞いたほうがいいですよ。

下手に手を出すと余計な修理代がかかることもありますから。

全然回答になってなくてすいません。

この回答へのお礼

確かに私も業者に聞くのが一番の早道だと思いましたが、
いろいろと事情がありまして…(^^;
それにしても、ご即答ありがとうございました。

お礼日時：2004/12/19 10:23