真空蒸着機でマグネシウムを蒸着できるでしょうか

真空蒸着機を用いてガラス基盤に、薄膜を蒸着したいと思っています。その際、マグネシウムを蒸着することはできるのでしょうか？
知識のある方、教えてください。お願いいたします。

No.3 回答者： kenojisan 回答日時： 2006/08/14 17:15

大昔に、E-5Paレベルの真空ででMg薄膜の蒸着をしていました。

Alよりずっと蒸発しやすいので、電子ビーム加熱だと小さなパワーを制御するのに苦労しました。蒸発速度を制御したいのなら、K-セルかるつぼを使った抵抗加熱の方が良いと思います。
#2さんのご心配はもっともで、蒸着膜の使用目的に合わせて保護膜を考えないといけないかも知れません。
私の場合は、安定な金属との多層膜だったので、数nmの膜厚でも安定でしたが。ただ、有る程度の厚さ（数百nm以上？）だと、Alの場合と同様に酸化された表面層が保護膜となって、意外と安定に保てるかも知れませんが。

No.2 回答者： myeyesonly 回答日時： 2006/08/11 19:22

こんにちは。

出来なくはないと思いますが、問題はその後かもしれません。

金属マグネシウムは非常に化学的に活性が高く、空気中の酸素や水分とも容易に反応します。

蒸着幕が薄い場合、たちまち全部酸化して用を成さなくなっちゃう可能性が考えられます。

No.1 回答者： acombun 回答日時： 2006/08/11 17:50

アルミニウムは経験があるのですが、マグネシウムはありません。

でもマグネシウムの方が沸点がアルミニウムより低いのだから可能ではないでしょうか。
自信はありません。