グロー放電とは何ですか？？

仕事柄、「グロー放電を使った物理蒸着が…」と言う文章を見ます。が、しかし、ワタクシ、文系畑をまっしぐらに生きてきた為に何のことやら全く分かりません。。。。きっと理系の皆様にはかなり基礎的な知識かと思われますが、何卒「グロー放電」なる物を教えてください。
宜しくお願い致します。

No.2 ベストアンサー 回答者： kajyukun 回答日時： 2003/06/02 22:19

たとえば薄膜を作る方法（蒸着法）にスパッタリングというものがあります。

これはグロー放電を利用する方法で、蛍光灯やネオンサインに利用されている放電と同じで、圧力が0.01～1000Pa程度のArガス封入容器中で陰、陽極間に高電圧を印可するとグロー放電が発生します。このとき発生する光はプラズマと呼ばれています。

この回答へのお礼

有難うございます。プラズマとの関係も良くわかりました。お気遣い有難うございます！！

お礼日時：2003/06/02 22:55

No.4 回答者： tocoche 回答日時： 2003/06/03 18:26

放電というと雷のようにイナズマが走るイメージが強いと思いますが、これはアーク（電弧）放電。

　グロー放電は蛍光灯を点けるときに点灯管の中で起こっているような、ぼやーっと光る放電です。　激しくなくて安定した放電なので、真空蒸着では金属を少しづつ蒸発させます。

この回答へのお礼

具体的に金属をどの様に変化させていくかイメージが沸きました。有難うございます。

お礼日時：2003/06/03 21:32

No.3 回答者： First_Noel 回答日時： 2003/06/03 15:24

最も身近なグロー放電は，蛍光灯です．

ただ蛍光灯は内側に蛍光塗料が塗ってあるので，
直接見ることは出来ませんが．
あと，町でみかけるネオンサインなどもそうです．

アーク放電とグロー放電との違いは，放電電圧を上げると
電流量が増えるか増えないかと言う点です．
また，グロー放電にも，通常のものと，異常グロー放電とがあります．

この回答へのお礼

アーク放電とグロー放電の違いは電流量だったんですね。参考になりました！有難うございます。

お礼日時：2003/06/03 21:29

No.1 回答者： atsushi01 回答日時： 2003/06/02 22:07

グロー放電：ガラス管に比較的圧力の低い気体（１ｍｍＨｇ前後）を封入して電極間に電圧を加えると光を伴う放電が起こる。

これをグロー放電と呼びます。

電極間の電圧を高くするとアーク放電になる。

この回答へのお礼

有難うございます！！大変分かり易いです。また、宜しくお願いします。

お礼日時：2003/06/02 22:11