H3PO4 と HF の混合について

仕事上、HFを使用していますが、工程の関係上、H3PO4を追加することとなりました。
今後、HFとH3PO4が混ざる可能性が出てきますが、危険な物質が発生することはありますでしょうか？

どちらも酸系の物質なので、特に反応が生じることはないと、個人的には考えていますが、念の為質問させて頂きました。
尚、HFはエッチングのために使用しています。

4HF+SiO2→SiF4 ↑ +2H2O
6HF+SiO2→H2SiF6 +2H2O
H2SiF6→SiF4 ↑ +2HF
H2SiF6+H2O→H2SiO3+6HF

また、後学のために、自分では分からない反応に出会った際、どのように解決すれば良いのか、併せてご教授頂けると幸いです。

No.1 回答者： ninoue 回答日時： 2014/03/13 14:51

化学については素人ですが、例えば次のようにサーチすると情報が見つかるようです。

またフッ素と塩素は似た性質のようですから、　
フッ素　の部分は　フッ素 OR 塩素　　等としてもサーチされたら良いのではと思われます。

化学反応　リン　フッ素
化学反応　リン　フッ素　"PF"
==>
Wikipedia:三フッ化リン

化学反応　リン　フッ素　"PF" "HF" "H3PO4"

リンとフッ素は化合して有害な気体が発生する等注意が必要なようです。

より詳しくは次のサイト等であと少し状況を追加する等して質問してみて下さい。

技術の森
http://mori.nc-net.or.jp/EokpControl?&event=TE0001