A 回答 (3件)
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No.1
- 回答日時:
あまり詳しくないのですが、フッ素ゴムは耐熱性・耐薬品性に非常に優れていますよね。
これより優る樹脂はそうないと思うのですが…。またフッ素ゴムは非接着性でコーティングは難しいような気がしますが、どうなのでしょうか。No.2
- 回答日時:
フッ素ゴムはコーティング剤の”のり”が悪そうなので、他の方法を考えたほうが良いと思うのですが。
真空気密シール等の目的でどうしてもフッ素ゴムを使用する必要があるのなら、直接的な解決策ではないのですが、フッ素ゴムシートとプラズマ源との間にSUS等の遮蔽板を置く構造にしたらどうでしょうか?
もしフッ素ゴム使用の目的が真空気密シールならば、これをメタルOリングに変更すれば簡単に解決できそうですが・・・
参考URL:http://www.valqua.co.jp/
No.3
- 回答日時:
ポリイミドがいいと思います。
耐熱性・高純度性が優れていますが、価格がちょっと高いのが難点ですね。製品名はわかりかねますのが、フッソコーティングのメーカーで調べてみるのも手かな?と思います。お探しのQ&Aが見つからない時は、教えて!gooで質問しましょう!
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