線吸収係数

GAXRD(Glancing Angle X-Ray Diffraction)を用いて材料表面の物性評価を行っています。入射角αを0.5°,1°,2°,5°,10°と変えてスパッタリングで作製したTiN膜（膜厚約1μm）のX線回折パターンをとっています。それぞれの入射角で測定したときのX線侵入深さを知りたいのですが、それはI=I0exp(-μx/ρ)(I0:ある物体を透過する前のX線の強度、I:ある物体を透過した後のX線の強度、μ：物体の線吸収係数、ρ：密度、x：X線が透過した厚さ）から物質測定深さを概算できると聞きました。しかし、TiNの線吸収係数をネットも含めていろいろ探してみたのですが、見当たりませんでした。どなたかご存知の方がいらっしゃいましたら、ご教授下さい。また、別の方法でX線侵入深さがわかる方法がありましたら、あわせて教えてください。

No.1 ベストアンサー 回答者： imoriimori 回答日時： 2006/11/01 09:14

TiNの減弱係数は下記URLを見てみてください。

http://physics.nist.gov/PhysRefData/FFast/html/f …


Compound* formula or element symbol: の欄にTiNと入れて
Type of Dataその他の欄で適当に選べば出てきます。
質量減弱係数でも線減弱係数でも出てきます。線減弱係数だとρを入れないといけませんけどρはわかっているんですよね。

参考URL：http://physics.nist.gov/PhysRefData/FFast/html/f …

この回答へのお礼

御礼が遅れまして大変申し訳ありません。
参考URLにて無事解決いたしました。
ありがとうございました。

お礼日時：2006/11/06 13:17