【フォトリソグラフィ】マスクパターン形成方法

フォトリソグラフィを実施する際
マスクを用いてパターンを形成しますが、
そのマスクのパターンはどのように作られているのでしょうか？

ご教授よろしくお願いします。

No.1 回答者： gtx456gtx 回答日時： 2011/10/02 10:01

>そのマスクのパターンはどのように作られているのでしょうか？

マスク自体？　それともマスク・パターン？　どちらの作り方？


マスク・パターンはCADでパターンを生成し、所定のフォーマットでマスクを作成する機械に渡して作成しますが、マスク自体はＩＣ用とかＰＣＢ用などで必要な精度が違うので作り方も違うと思います。


一般のＰＣＢ用のマスクは、型枠に金属版を貼って、その金属板をエッチング処理してマスク・パターンを生成するはずですが・・・詳細は知りません。