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ネット検索すると,a面({11 ˜20}面)とか m 面({1 ˜100}面)とか,結晶面(Miller 指数ののように見えるので?)のことではないのですか? 僕は専門外なので推測ですけどね。
その結晶面の面内(ある二つの軸を含む面でしょうか?)が,基板のそれとその上に蒸着させる薄膜が持つそれとが平行だとか?いうことではないのでしょうか?お探しのQ&Aが見つからない時は、教えて!gooで質問しましょう!
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