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http://www.jisc.go.jp/app/pager?%23jps.JPSH0020D …
こちらのサイトで規格名称「クリーンルームの空気清浄度の評価方法」をご覧になるとよさそうです。
0.1μの粒子では1000個/m^3の様です。
参考URL:http://www.jisc.go.jp/app/pager?%23jps.JPSH0020D …
こちらのサイトで規格名称「クリーンルームの空気清浄度の評価方法」をご覧になるとよさそうです。
0.1μの粒子では1000個/m^3の様です。
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