マスクの作製について

フォトリソグラフィのための、マスク（７μm周期）を作りたいのですが
どのようにして作るものかよくわかりません。
作製法を知っている方、教えてください。

No.1 回答者： ykkw_2001 回答日時： 2001/10/04 18:04

作製法は知りませんが・・

http://www.jaist.ac.jp/~shingi/kiban.html

# 自分で作ろうとしているのですか！！？

参考URL：http://www.google.com/search?q=%83t%83H%83g%83%8 …

この回答へのお礼

回答ありがとうございます。

一応考えとしては３５ｍｍ四方に７μm周期のものを
作るとして、約2500本の線を引きそれをカメラで
撮影して、そのネガをもちいてなんとかしようとは思っていますが、
これでうまくいくのかがわかりません。
ほかのいい方法があればと思って、質問しました。

お礼日時：2001/10/04 19:45