最近、スパッタリング装置の排気系に水が溜まるようになりました。
溜まる場所はロータリーポンプのオイル室です。
オイルに水が混入して乳白色になっています。
スパッタチャンバーの排気はクライオポンプがあり、後段にメカニカルブースターポンプとロータリーポンプがあります。
知人からクライオポンプを再生(リジェネ)するときに水が出ることがあると聞きました。
しかし”特定の条件がそろうと水が出る”ようなことを言っていましたが詳しくは聞き出せませんでした。
なぜ水が出るのか、どのような条件(状態)で水が出るのか教えてください。
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