CVD装置から毒ガス(オゾン)が出た。助けて！

研究室でCVD装置を扱っています。困ったことがあります。放電するとオゾンが数ppm発生し、超危険な状態になります。そんな経験ってありますか？プラズマ源はヘリコンです。なぜ発生するんですか？

No.1 回答者： doc_sunday 回答日時： 2010/12/12 17:11

酸素分子があればプラズマ放電で幾らでも濃いオゾンは作れます。

オゾン発生器は酸素のプラズマ放電でオゾンを作っています。
その程度で驚いていたら研究なんか無理ですよ。

この回答へのお礼

言葉足らずですみませんでした。普通、CVDは危険なガスを使うため、チャンバー内のプラズマ生成物は除害され、外気に出ないようにしているとわかっていると思って書きませんでした。そうではなく、プラズマ源のマッチングボックスのファンの出口でオゾンが検出されます。空気中の酸素(21%)がマッチングボックス内を通って、プラズマのUVか無声放電で反応してしまい数ppmのオゾンが出ていると思います。回路構成とマッチングポイントから計算するとたかだか500Vくらいです。計算上ですが。メーカーさんの装置では出てないので不思議で危険です。どんな状態だったらオゾンが出るのか教えてもらえませんか。

お礼日時：2010/12/12 22:00