ポンプ、運転状態、真空計の適切な組み合わせはどれ?

ポンプ、運転状態、真空計の適切な組み合わせはどれでしょうか?

a.
「主」ターボ分子ポンプ「補助」ドライポンプ
ターボ分子ポンプ(排気速度：2ｍ2/ｓ)がN2ガス流量20Ｐａ・ｍ3を排気
B-A真空計

b.
「主」ターボ分子ポンプ「補助」油回転真空ポンプ
ターボ分子ポンプの到達圧力
ピラニー真空計

c.
「主」ターボ分子ポンプ「補助」メカニカルブースターポンプ
ターボ分子ポンプの到達圧力
B-A真空計

d.
「主」ターボ分子ポンプ「補助」ドライポンプ
ターボ分子ポンプの到達圧力
B-A真空計

e.
「主」ドライポンプ
ドライポンプの到達圧力
B-A真空計

No.1 ベストアンサー 回答者： pc_knight 回答日時： 2014/02/13 20:06

先ず、「ａ」の回答例がおかしいことを指摘しておきます。

ターボ分子ポンプ(排気速度：2ｍ2/ｓ)　→（正）2ｍ＾３/ｓ
N2ガス流量20Ｐａ・ｍ3　→（正）20Ｐａ・ｍ＾3／ｓ

第一ステップ
まず、ポンプの組み合わせの適否をチェックします。

「ｃ」は不適。
「主」ターボ分子ポンプ「補助」メカニカルブースターポンプには、油回転真空ポンプ、ドライポンプ、などの粗引きポンプと組み合わせが必要で、「主」ターボ分子ポンプ「補助」メカニカルブースターポンプだけで使用したら、両ポンプともオーバーヒートするでしょう。

｛ｃ｝以外は適切

第二ステップ
次に到達圧力Ｐと各真空計の測定可能圧力Ｐｇとが合致しているかどうかのチェックを行います。
「ａ」Ｐ＝１０（Ｐａ）、Ｐｇ＝１０＾－８～１０＾－２（Ｐａ）　→　不適切
「ｂ」Ｐ＝１０＾－８、Ｐｇ＝０．５～２，０００　→　不適切
「ｄ」Ｐ＝１０＾－８、Ｐｇ＝１０＾－８～１０＾－２（Ｐａ）　→　適切
「ｅ」Ｐ＝１０＾２、Ｐｇ＝１０＾－８～１０＾－２（Ｐａ）　→　不適切

従って、「ｄ」が正解

ポンプの使用可能圧力範囲やポンプの組み合わせについては、メーカーホームページになりますが、http://www.shinku-pump.com/vacuumpump/が参考になるかと思います。

この回答へのお礼

詳細および参考URLありがとうございます。

お礼日時：2014/02/14 10:02