「DC放電」・「RF放電」について教えてください

現在スパッタリングについて学んでいるのですが、DCスパッタリングの放電原理・RFスパッタリングの放電原理がわかりません。
今まで工学系の事を学んできていなかったので、焦っています。
何卒、よろしくおねがいします。

No.1 回答者： shintaro-2 回答日時： 2008/07/12 11:47

>放電原理がわかりません。

絶縁破壊以外の何ものでもないのですが、
具体的にどのようなことですか？

もしかして、絶縁破壊のメカニズム？

この回答への補足

うまく質問できずに申し訳ありません。
スパッタリング自体の原理は勉強し、DCでは絶縁物へのスパッタができないが、RFでは可能である事はわかりましたが、具体的なDCスパッタリングとRFスパッタリングの放電原理がわかりません。
DCスパッタリングとRFスパッタリングは放電の方法が異なるだけなのでしょうか？

補足日時：2008/07/14 14:37