生成した結晶の評価法について

熱CVDを使ったダイヤモンド薄膜生成について調べているのですが、生成した結晶の評価法の調査に手間取っています。
読んでみた論文には結晶の反射率を測定しているものがありましたが、これも結晶の評価法の一つなのでしょうか？
その論文では他に評価らしいことをしていないので、戸惑っています。
ラマン分光法や電子線回折を用いた方法なら習ったのですが・・・
詳しい方、知識をお持ちの方のお力を借りたいと思い質問させていただいてます。
どうかよろしくお願いします。

No.2 ベストアンサー 回答者： 38endoh 回答日時： 2002/12/20 10:31

ダイヤモンド薄膜の何を評価したいのでしょうか？　それによって測定も変わってきますが。

sp3 炭素の生成を確認するだけでよいならラマンでも良いですが，結晶性や配向まで調べたいなら XRD が必要ですね。微結晶の粒径を議論したいならば XRD よりも SEM などで見た方が良いですね。本当にケースバイケースだと思います。

> 反射率を測定しているものがありましたが、これも結晶の評価法の一つなのでしょうか？

反射率は屈折率で決まりますが，ダイヤモンドはとても屈折率が高い物質ですので，反射率でもダイヤモンドの生成をモニターできるのかもしれません。熱 CVD によるダイヤモンド薄膜が光学的にどの程度平滑か分かりませんが，もし干渉が起こるような膜ですと，様々な反射率測定（楕円偏光解析）から膜厚を算出することもできます。

No.1 回答者： ojin 回答日時： 2002/12/19 22:05

現在では、人工ダイヤモンドは当り前ですが、まだ、開発の初期に、グラファイトがダイヤモンドに転移するのを、X線回折装置で検定する装置を開発致しました。

もう過去の記憶なので当てにしないでください。
ブラッグの式で、特性X線の波長と、回折装置の検出角度から、格子間隔dが算出できます。X線元は、Cuの陽極で、５０KVでした。
nλ=2dsinθ(ブラッグの式)
薄膜のダイアモンドの単結晶であれば、X線回折装置(X線ディフラクトメータ)に比較的容易に設定可能と思われます。